AFM
AFM（Atomic Force Microscope)
AFMは原子同士に働く原子間力を利用して物質の表面性状を計測する。バネ性をもったカンチビームの先端にプローブとなる針を取り付け、原子間力が一定になるように試料上を走査すると試料の原子間力によりビームが撓む。これをレーザー光により計測するのがAFMである。
この顕微鏡はSTM(Scanning Tunneling Microscope)も可能である。原子間力の代わりに試料とプローブの間に電圧をかけ、原子間に起こる電子のトンネル効果により起こる電流を計測する事で試料表面の電子状態を知る事ができる。
| AFM | STM | |||
| コンタクトモード | タッピングモード | ノンコンタクトモード | ||
| 水平分解能 (nm) | 0.2〜1 | 1 | 5〜10 | |
| 摩擦力 | 大(摩擦力顕微鏡にも応用) | 小 | 小 | 小 |