FE-SEM
電界放射型走査電子顕微鏡:Field Emission-Scanning Electron Microscope
走査電子顕微鏡（SEM）は、数nmに収束した電子線を試料表面上に二次元的に走査し、試料表面から発生する二次電子や反射電子線等の強度を画像として得る装置で、試料の表面形状を数百〜数万倍に拡大観察できます。
中でもFE-SEMは電子源に電界放出型電子銃を用いており、低加速電圧・高分解能で、高画質な像の観察が可能になっています。またSEMにX線分光器を付属させると元素分析が可能です。