情報メカトロニクス学科の平井聖児教授、堀内勉教授が共著者として携わった専門書が発刊されました。

◆半導体製造における洗浄技術（シーエムシー出版）：https://gy53.asp.cuenote.jp/p/000048f8b0/36505/body/pc.html